В то время как фильтры HEPA имеют оценку 99,995%, наша серия ULPA обеспечивает 99,9995%. Это 100-кратное увеличение удержания частиц является критическим различием, необходимым для субмикронной литографии и высокого сдерживания биологической безопасности.

Наша специализированная технология вспушения материала позволяет достичь начального сопротивления ≤ 25Па , тогда как стандартные фильтры часто начинаются с 100Па+. Это позволяет системам ОВКВ работать при значительно более низких оборотах, продлевая срок службы двигателя и уменьшая вибрацию.

Каждый блок ULPA проходит тщательное сканирование, чтобы гарантировать отсутствие утечек при наиболее уязвимых размерах частиц. Эта техническая строгость обеспечивает уверенность, необходимую для прохождения самых требовательных проверок валидации объектов в мире.